
當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > CVD、PECVD設(shè)備 > 雙溫區(qū)開(kāi)啟式真空管式爐 (管徑80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F
                            
簡(jiǎn)要描述:OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.
產(chǎn)品型號(hào): 
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間:2025-02-10
訪(fǎng)  問(wèn)  量:5638產(chǎn)品分類(lèi)
詳細(xì)介紹
  OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.
  技術(shù)參數(shù)
殼體結(jié)構(gòu)  | 
  | 
功率  | 2.5 KW  | 
電壓  | AC 208-240V單相, 50/60 Hz  | 
加熱元件  | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo  | 
zui高工作溫度  | 1200 ℃  | 
連續(xù)工作溫度  | 1100 ℃  | 
zui大升溫速率  | <= 20 ℃ /min  | 
爐管尺寸和材質(zhì)  | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm  | 
加熱區(qū)長(zhǎng)度  | 
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恒溫區(qū)長(zhǎng)度  | 150mm (+/-1oC)  | 
溫度控制器 
 
 
 
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控溫精度  | +/- 1oC  | 
真空密封系統(tǒng) 
 
 
 
 
 
 
 
 
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真空泵 
 
  | 采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器,可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過(guò)濾的zui小微粒直徑為0.3微米。  | 
數(shù)字式真空表  | 
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混氣系統(tǒng) 
 
 
 
 
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閥門(mén)  | 四個(gè)不銹鋼閥門(mén)安裝移動(dòng)架的側(cè)面板上分別在三個(gè)氣體的入口處  | 
尺寸  | 爐子: 550 x 380 x 520 移動(dòng)架: 600x600x597  | 
凈重  | 約60KG  | 
運(yùn)輸重量  | 600 lbs  | 
運(yùn)輸包裝尺寸  | Two cases in one pallet: 45x45x35/case  | 
質(zhì)保期  | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件  | 
質(zhì)量認(rèn)證  | 
 
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