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簡要描述: OTF1100X11Z3LV CVD system consists of 11" diameter three zone tube furnace with mechanical vacuum pump system (up to 10-2 torr ) and 6 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases for CVD or diffusion
產品型號: 
廠商性質:生產廠家
更新時間:2025-02-10
訪  問  量:2179產品分類
詳細介紹
我公司供應的產品符合國家有關環保法律法規的規定(含采購商ISO14000環境體系要求),不會造成環境污染; 
     該產品符合采購商OHSMS18000職業安全健康管理體系標準的要求,不會對接觸產品的人員健康造成損害! 
主要特點: 采用電阻絲加熱;30段程序控溫;3個獨立溫區,可通氣氛抽真空
設備的控制系統,具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高(專家PID控制)、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、可通氣氛抽真空等特點。
 
技術參數: 
功率: 8 Kw 
電源:AC220V  , 50/60 Hz  (使用時需配 50A空氣開關)
加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金
zui高溫度: 1100 oC
長期使用溫度: 1000 oC
zui快升溫速率: ≤ 10 oC /min
爐管尺寸及材質: 石英管;外徑279 x內徑269 x長度1524mm
加熱區長度:三個溫區分別是300 mm + 300 mm + 300mm
溫區總長: 900 mm
恒溫區長度: 500 mm ( 在恒溫區內溫度誤差 ± 1oC)
溫度控制器:
三塊30段高精度溫度控制器,可分別單獨控制每個溫區 
自動PID調節功能,可使溫度控制精度保持在± 1oC 
設有自動超溫及斷偶報警功能。 
請點擊此處下載  使用操作說明書     
熱電偶類型: 3只K型熱電偶分別安裝于每個溫區
真空密封法蘭:
可直接連接PV軟管 
采用雙硅膠O型圈密封可耐溫 300oC 
配有氧化鋁絕熱堵頭有效的阻止熱輻射起到保護法蘭的目的
真空系統:
采用雙旋葉機械泵于分子泵相結合,zui高真空度可達 10-3.帕   
1臺分子泵 
配有一只電阻規于電離規作為檢測元件  
波紋管連接 
可選配數字真空計(美國進口)
 
 
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