1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-F3LV

簡要描述：GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，Z高溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-02-10
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GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，zui高溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

技術(shù)參數(shù)

管式爐結(jié)構(gòu)

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C.
保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

1800 grade MoSi2 ( 8根)

zui高工作溫度

1700°C

zui大升溫速率

5°C/min

zui大降溫速率

5°C/min

加熱區(qū)長度

455mm (18")

恒溫區(qū)長度

150(+/-1°C)

溫控系統(tǒng)

一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR
可設(shè)置30段升降溫程序.
控溫儀表操作視頻
帶有過熱和斷偶保護(hù)

控溫精度

+/-1°C

爐管材質(zhì)和尺寸

99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
ID: 72mm x OD: 80 mm x 1000 mm length.

密封法蘭

兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計，和閥門
通過機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr
泄漏率zui大6 mtorr/min

輸入電源

AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：zui大5KW

真空泵和配件

真空泵

一個雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動架內(nèi)
通過此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr

配件

標(biāo)配的真空配件: 一對不銹鋼密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭
一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
一個LED數(shù)字式真空顯示計（測量范圍： 0.1mtorr ~ 850 torr)
可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點擊圖片查看詳細(xì)介紹）

氣體流量計