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詳細介紹
  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,其真空度可達到 10-2 torr.
技術參數
高溫爐殼體  | 
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功率  | 2.5 KW  | 
電壓  | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz  | 
加熱元件  | 摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其zui大程度延長使用壽命)  | 
zui高工作溫度  | 1200℃  | 
連續工作溫度  | 1100℃  | 
zui快升溫速率  | <= 20 ℃  | 
爐管材質和尺寸  | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm  | 
加熱區長度  | 400 mm  | 
恒溫區長度  | 150 (+/-1 ℃)  | 
控溫系統  | 
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控溫精度  | +/- 1 ℃  | 
 真空密封系統 
   
 (點擊圖片查看詳細資料)  | 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),zui大漏氣率6 mtorr/min  | 
真空泵  | 采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的zui小微粒直徑為0.3微米。  | 
數字式真空顯示計 
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混氣系統  | 
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尺寸  | 
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凈重  | 約60kg  | 
運輸重量  | 200  | 
質保期  | 一年質保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)    | 
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