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產品分類
詳細介紹
     GSL-1700X-4-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統,其爐管直徑為4英寸,它是由二路質子混氣系統和高真空機組組成,其zui高工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。
技術參數
GSL-1700X 系列管式爐  | 殼體  | 
  | ||||
爐管  | 
  | |||||
功率 
  | 6KW  | |||||
工作電壓 
  | AC 208-240V單相, 50/60Hz  | |||||
加熱元件 
  | 8 根1800°C grade MoSi2 heating element  | |||||
工作溫度  | 
  | |||||
升溫速率 
  | <=5°C/min  | |||||
加熱區長度  | 
  | |||||
溫控系統  | 
  | |||||
真空法蘭  | 
  | |||||
外形尺寸 
  | 550 x 380 x 520mm  | |||||
高真空機組  | 功率 
  | 100~110W  | ||||
工作電壓 
  | AC 208-240V單相, 50/60Hz  | |||||
外形尺寸 
  | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm  | |||||
殼體  | 
  | |||||
控制面板  | 
  | |||||
抽氣速率  | 
  | |||||
工作范圍 
  | 1000 mbar to <1E-7 mbar  | |||||
極限 
  | <1E-8 mbar (without any leaking )  | |||||
質量流量控制器  | 殼體  | 
  | ||||
功率 
  | 18W  | |||||
工作電壓 
  | AC 208-240V, 單相, 50/60Hz  | |||||
質保期  | 
 一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件  | |||||
質量認證  | 
  | |||||
 
 Operation Manual 
 
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